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PECVD 晶圓舟升級

商先創公司持續不斷為提高產能而增加舟載量,并同時保證電池片達到最優性能。商先創公司通過優化升級可以將貴方現有的PECVD體系的舟載量提高以滿足更大的產能需求。

為了實現這項改進,必須調換加工處理管的后法蘭、HF吹管(lances)與運輸部件。

此外,商先創公司的技師還將按照貴方的要求,優化PECVD工藝的質量與周期時間。

優點

  • 提高貴方的競爭優勢
  • 降低貴方的每片晶圓生產成本
  • 增加產能與良率
  • 優化設備利用率
  • 優化工藝配置與時間
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